可靠性技术的发展源于器件的失效。 研究器件的失效不是简单的定位和维修,而是通过深入分析器件内部的失效特征,找出失效原因,从而为最终解决问题打下坚实的基础。
失效分析是可靠性工程的基础,只有通过失效分析才能从根本上解决失效,降低故障率,积累经验,提高技术水平。
4.5.2 失效分析的目的和意义
传统的器件失效分析是对失效器件进行的分析,从材料、结构、设计、制造工艺和使用等方面,通过物理、化学的分析方法来确定失效模式,分析失效机理,判断失效性质、假设失效原因。
现在的失效分析不仅仅是传统的失效模式和机理的分析,而是根本原因(Root Cause)分析,找到根本原因,提出改进措施,解决问题,更重要的是提出预防措施,在新产品开发中避免类似的问题发生。
4.5.3 典型失效模式
失效模式是器件失效后表现出来的宏观现象和特征,它不需要解剖器件即可获得。主要有:
① 开路
② 短路
③ 功能丧失
④ 功能退化:如漏电流增加,耐压劣化,参数漂移
⑤ 重测合格
⑥ 结构不良
4.5.4 典型失效机理
失效机理是指由于物理、化学、机械、电、人等原因引起产品失效的机理。该定义中的产品是从大的系统到器件、部件、材料等的总称。
如果针对半导体器件的情况,失效机理是导致器件发生失效的物理、化学变化过程,如介质击穿、金铝合金引起键合点抬起、钠离子沾污导致的PN结劣化、闩锁效应引起的烧毁等。根据失效机理,可以判断导致器件失效的根本原因,进而提出相应改进措施。典型失效机理包括:
① 电应力
√雷击浪涌
√ESD
√电源上下电
√带电插拔
√器件闩锁
√过压
√过流
√冲突
② 热应力
③ 机械应力
④ 环境应力
⑤ 寿命应力
⑥ 来料缺陷
4.5.5器件失效分析流程
4.5.5.1 解剖前的过程
解剖前的过程通常可能包括
l 失效情况调查,总结失效数据
l 测试(功能、I-V曲线测试)
l 模拟实验
l 外观镜检
l X-RAY检测
l 超声扫描
l 失效模式分类
4.5.5.2 解剖
解剖(Decapsulation)是利用物理和化学方法对器件解封,其目的是为了对元器件内部进行仔细检查和测试。解剖时应根据封装特点制定出开封方案,避免损伤器件内部的结构、破坏失效部位。
4.5.5.3 解剖后分析过程
器件失效分析思路有两个主要过程:正向和逆向分析。
l 逆向分析,即从器件的失效模式和机理中推测器件的主要失效原因。
l 正向分析,即从检视器件应用是否正确的角度分析。
失效重现是判断失效分析结论是否正确的重要依据,但不是充分依据。因此需要从多个角度验证,避免出现错误结论。
4.5.5.4 编写失效分析报告
根据失效分析获得的各种数据,可以证实失效机理,找出失效原因,制定防止失效再次发生的措施,并写成失效分析报告,使成果共享。